Автор туралы ақпарат

Дамыров, У. М

Шығарылым Бөлім Атауы Файл
Том 70, № 10 (2025) ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ НЕОРГАНИЧЕСКАЯ ХИМИЯ DFT STUDY OF ATOMIC LAYER ETCHING OF AMORPHOUS ZINC OXIDE USING ACETYLACETONE AND ITS FLUORINATED DERIVATIVES