АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК AlMoxOy С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРИХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ ИЛИ ТРИМЕТИЛАЛЮМИНИЯ И КВАНТОВО-ХИМИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ ПРОЦЕССОВ РОСТА, ВОССТАНОВЛЕНИЯ И КОНВЕРСИИ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Проведен сравнительный анализ поверхностных процессов атомно-словеого осаждения (АСО) AlMoxOy с использованием воды, диоксидихлорида молибдена (MoO2Cl2), триметилалюминия (Al(CH3)3, ТМА) или хлорида алюминия (AlCl3). Изучено влияние природы алюминиевого прекурсора на состав и степень окисления молибдена в пленках. Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что содержание молибдена в полученных пленках ниже содержания алюминия. Также в пленках обнаружен молибден со степенями окисления Mo+6, Mo+5 и Mo+4; при этом соотношение атомной концентрации Mo+6 к восстановленным формам в случае процесса с ТМА составило 0.76 : 1, а в случае с AlCl3 — 6.3 : 1. Замена ТМА на AlCl3 в процессе АСО AlMoxOy снизило количество восстановленного Mo в пленках, а также общее содержание молибдена. Для оценки термодинамических параметров предложенных реакций для процессов АСО с использованием AlCl3 и ТМА выполнены квантово-химические расчеты методом DFT, на основе полученных данных предложено объяснение наблюдаемым различиям в пленках.

Об авторах

С. Г Гаджимурадов

Дагестанский государственный университет; Институт проблем геотермии и возобновляемой энергетики

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Объединенного института высоких температур РАН Махачкала, Россия; Махачкала, Россия

С. С Етмишева

Дагестанский государственный университет

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

А. М Максумова

Дагестанский государственный университет

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

С. И Сулейманов

Институт физики Дагестанского федерального исследовательского центра РАН

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

И. М Абдулагатов

Дагестанский государственный университет; Институт проблем геотермии и возобновляемой энергетики

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com

филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Объединенного института высоких температур РАН

Махачкала, Россия; Махачкала, Россия

А. И Абдулагатов

Дагестанский государственный университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

Список литературы

  1. Magkoev T.T., Mustafaeva D.G., Zadlishvili V.B. et al. // Materials. 2022. V. 15. P. 2245. https://doi.org/10.3390/ma15062245
  2. Харамирова Р.Н., Зайдман Н.М., Плясова Л.М. и др. // Кинетика и катализ. 1973. Т. 14. № 6. С. 1538.
  3. Haber J. The Role of Molybdenum in Catalysis / London: Climax Molybdenum Co., 1981. 479 p.
  4. Dondi M., Matteucci F., Baldi G. et al. // Dyes Pigm. 2008. V. 76. № 1. P. 179. https://doi.org/10.1016/j.dyepig.2006.08.021
  5. Davis B.E., Strandwitz N.C. // IEEE J. Photovolt. 2020. V. 10. № 3. P. 722. https://doi.org/10.1109/jphotov.2020.2973447
  6. Chowdhury S., Khokhar M.Q., Pham D.Ph. et al. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2022. V. 11. № 1. P. 015004. https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac4d83
  7. Erdemir A.A. // Tribol. Lett. 2000. V. 8. № 2–3. P. 97. https://doi.org/10.1023/A:1019183101329
  8. Erdemir A.A. // Surf. Coat. Technol. 2005. V. 200. № 5–6. P. 1792. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.08.054
  9. Matsumoto Y., Shimanouchi R. // Procedia Eng. 2016. V. 148. P. 158. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2016.06.507
  10. Малахова А.А. // Изв. СПбГТИ (ТУ). Т. 1. № 27. С. 14.
  11. Кольцов С.И., Алесковский В.Б. // Журн. физ. химии. 1968. Т. 42 С. 1210
  12. Алесковский В.Б. // Журн. прикл. химии. 1974. Т. 47. № 10. С. 2145.
  13. Алесковский В.Б. Химия надмолекулярных соединений: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во С.-Петербургского университета, 1996. 256 с.
  14. Малахова А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. // Журн. неорган. химии. 2024. Т. 69, № 3. С. 294. https://doi.org/10.31857/s0044457x24030046
  15. Popov G., Mattinen M., Vibervaara A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2025. Vol. 43. № 3. P. 030801. https://doi.org/10.1116/6.0004320
  16. George S.M. // Chem. Rev. 2010. V. 110. P. 111. https://doi.org/10.1021/cr900056b
  17. Максумова А.М., Бодалёв Н.С., Сулейманов С.И. и др. // Неорган. материалы. 2023. Т. 59. № 4. С. 384. https://doi.org/10.31857/S0002337X2304005X
  18. Максумова А.М., Бодалёв Н.С., Абдуласатов Н.М. и др. // Журн. неорган. химии. 2024. Т. 69. С. 110
  19. Maksumova A.M., Bodalev I.S., Gadzhimuradov S.G. et al. // Russ. J. Appl. Chem. 2024. V. 97. № 7. P. 595. https://doi.org/10.1134/S1070427224070024
  20. De Castro I.A., Datta R.S., Ou J.Z. et al. // Adv. Mater. 2017. V. 29. № 40. P. 1701619. https://doi.org/10.1002/adma.201701619
  21. Етмишева С.С., Гаджимурадов С.Г., Максумова А.М. и др. // Тезисы докл. конференции Кузнецовские чтения–2024, Новосибирск. 2024. С. 21.
  22. Neese F., Wennmohs F., Becker U. et al. // J. Chem. Phys. 2020. V. 152. P. 224108. https://doi.org/10.1063/5.0004608.21
  23. Perdew J.P., Burke K., Ernzerhof M. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 77. № 18. P. 1396. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.77.3865
  24. Weigend F., Ahlrichs R. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2005. V. 7. № 18. P. 3297. https://doi.org/10.1039/b508541a
  25. Гаджимурадов С.Г., Сулейманов С.И., Максумова А.М. и др. // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2023. Т. 68. № 3. С. 50. https://doi.org/10.6060/rvkt.20256803.7132
  26. Дроздов Е.О., Гукова А.Н., Дубровенский С.Д. et al. // Журн. общ. химии. 2016. Т. 86. С. 1551. https://doi.org/10.36807/1998-9849-2022-63-89-35-44
  27. Baltrusaitis J., Mendoza-Sanchez B., Fernandez V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 326. P. 151. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.11.077
  28. Choi J.G., Thompson L.T. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 93. № 2. P. 143. https://doi.org/10.1016/0169-4332(95)00317-7
  29. Clayton C.R., Lu Y.C // Surf. Interface Anal. 1989. V. 14. № 1–2. P. 66.
  30. Етмишева С.С., Максумова А.М., Гаджимурадов С.Г. и др. // Тезисы докл. XV Конференции молодых ученых по общей и неорганической химии ИОНХ РАН. Москва, 2025 г. С. 109.
  31. Oh I., Sandoval T.E., Liu T., et al. // J. Am. Chem. Soc. 2022. V. 144. № 26. P. 11757. https://doi.org/10.1021/jacs.2c03752
  32. Juppo M., Alen P., Riihelä M. et al. // Chem. Vap. Deposition. 2001. V. 7. № 5. P. 211. https://doi.org/10.1002/1521-3862(200109)7:5<211::AID-CVDE211>3.0.CO;2-L

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025