Физико-химическое исследование комплексов триметилплатины(IV) для MOCVD-приложений

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Уточнена структура триметилплатины(IV) иодида [(CH3)3PtI]4 (I) (CCDC № 22330007) и определена структура впервые полученного комплекса триметилплатины(IV) с тридентатным N,N,O-иминокетонатом [(CH3)3Pt(C9H17N2O)] (II) (CCDC № 22330008). Методами элементного анализа и спектроскопии ИК, ЯМР подтверждена чистота выделенных фаз. Термическое поведение комплекса II исследовано методом термогравиметрии. С помощью квантово-химических расчетов оценены энергии ионизации и фрагментации молекул II, приводящие к образованию наиболее устойчивого фрагмента [(CH3)3Pt]+. Комплекс II протестирован в процессах MOCVD. Пленки Pt с выраженной (111)-текстурой с размерами частиц около 100 нм были получены на Si-пластинах в присутствии кислорода.

Об авторах

С. И. Доровских

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН

Email: dorov@niic.nsc.ru
России, Новосибирск

Н. В. Куратьева

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН

Email: dorov@niic.nsc.ru
России, Новосибирск

И. В. Корольков

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН

Email: dorov@niic.nsc.ru
России, Новосибирск

Т. В. Басова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН

Email: dorov@niic.nsc.ru
России, Новосибирск

И. Ю. Ильин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: dorov@niic.nsc.ru
России, Новосибирск

Список литературы

  1. Liang L.C., Liao S.M., Zou X.R. // Inorg. Chem. 2021. V. 60. № 20. P. 15118. https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.1c02494
  2. Skabitsky I.V., Romadina E.I., Sakharov S.G. et al. // J. Organomet. Chem. 2019. V. 896. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.jorganchem.2019.05.008
  3. Lien C., Sun H., Qin X. et al. // Surf. Sci. 2018. V. 677. P. 161. https://doi.org/10.1016/j.susc.2018.07.002
  4. Thurier C., Doppelt P. // Coord. Chem. Rev. 2008. V. 252. № 1–2. P. 155. https://doi.org/10.1016/j.ccr.2007.04.005
  5. Komiya S., Ezumi S., Komine N. et al. // Organometallics. 2009. V. 28. № 13. P. 3608. https://doi.org/10.1021/om900319a
  6. Pichaandi K.R., Kabalan L., Amini H.et al. // Inorg. Chem. 2017. V. 56. № 4. P. 2145. https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.6b02801
  7. Ghosh B.N., Lentz D., Schlecht S. et al. // New J. Chem. 2015. V. 39. P. 3536. https://doi.org/10.1039/C4NJ02426E
  8. Ghosh B.N., Hausmann H., Schlecht S. et al. // ZAAC. 2013. V. 639. № 12–13. P. 2202. https://doi.org/10.1002/zaac.201300277
  9. Ghosh B.N., Schlecht S., Bauzá A. // New J. Chem. 2017. V. 41. P. 3498. https://doi.org/10.1039/C7NJ00337D
  10. Lindner R., Wagner C., Steinborn D. // J. Am. Chem. Soc. 2009. V. 131. № 25. P. 8861.https://doi.org/10.1021/ja901264t
  11. Lanci M.P., Remy M.S., Lao D.B. et al. // Organometallics. 2011. V. 30. № 14. P. 370. https://doi.org/10.1021/om200508k
  12. Baker L., Cavanagh A.S., Seghete D. et al. // ACS Nano. 2013. V. 7. № 7. P. 6337. https://doi.org/10.1021/nn402385f
  13. Aaltonen T., Rahtu A., Ritala M. // Electrochem. Solid-state Lett. 2003. V. 6. № 9. P. 130. https://doi.org/10.1149/1.1595312
  14. Karakovskaya K.I., Dorovskikh S.I., Vikulova E.S. et al. // Coatings. 2021. V. 11. № 1. P. 78. https://doi.org/10.3390/coatings11010078
  15. Dorovskikh S.I., Zharkova G.I., Turgambaeva A.E. et al. // Appl. Organomet. Chem. 2017. V. 31. № 7. e3654. https://doi.org/10.1002/aoc.3654
  16. Zharkova G.I., Baidina I., Turgambaeva A. et al. // Polyhedron 2012. V. 40. P. 40. https://doi.org/10.1016/j.poly.2012.03.045
  17. Zharkova G.I., Baidina I.A., Igumenov I.K. et al. // Russ. J. Coord. Chem. 2011. V. 37. P. 680. https://doi.org/10.1134/S1070328411080136
  18. Mohlala L.M., Jen T.-C., Olubambi P.A. // Procedia Manuf. 2019. V. 35. P. 1250. https://doi.org/10.1016/j.promfg.2019.06.083
  19. Dorovskikh S.I., Krisyuk V.V., Mirzaeva I.V. et al. // Polyhedron. 2020. V. 182. P. 114475. https://doi.org/10.1016/j.poly.2020.114475
  20. Dorovskikh S.I., Klyamer D.D., Mirzaeva I.V. et al. // J. Fluor. Chem. 2021. V. 249. P. 109843. https://doi.org/10.1016/j.jfluchem.2021.109843
  21. Fulmer G.R., Miller A J.M., Sherden N.H. et al. // J. Organomet. 2010. V. 29. P. 2176. https://doi.org/10.1021/om100106e
  22. Baldwin J.C., Kaska W.C. // Inorg. Chem. 1975. V. 14. № 8. P. 2020. https://doi.org/10.1021/ic50150a063
  23. APEX2 (version 1.08), SAINT (version 7.03), SADABS (version 2.11), SHELXTL (version 6.12). Madison (WI, USA): Bruker AXS Inc., 2004.
  24. Sheldrick G. // Acta Crystallogr. C. 2015. V. 71. P. 3. https://doi.org/10.1107/S2053229614024218
  25. ADF 2022. SCM. Theoretical Chemistry. Amsterdam (The Netherlands): Vrije Universiteit, 2022. http://www.scm.com
  26. Lenthe E. van, Ehlers A., Baerends E.J. // J. Chem. Phys. 1999. V. 110. № 18. P. 8943. https://doi.org/10.1063/1.478813
  27. Pye C.C., Ziegler T. // Theor. Chem. Acc. 1999. V. 101. № 6. P. 396. https://doi.org/10.1007/s002140050457
  28. Kraus W., Nolze G. // J. Appl. Crystallogr. 1996. V. 9. P. 301. https://doi.org/10.1107/S0021889895014920
  29. Donnay G., Coleman L.B., Krueghoff N.G. et al. // Acta Crystallogr. B. 1968. V. 24. P. 157.
  30. Zharkova G.I., Baidina I.A., Naumov D.Y. et al. // J. Struct. Chem. 2011. V. 52. № 4. P. 550. https://doi.org/10.1134/S0022476611030152
  31. Paul H. // Adv. Eng. Mater. 2010. V. 12. P. 1029. https://doi.org/10.1002/adem.201000078
  32. Goswami J., Wang C.-G., Cao W., Dey S.K. // Chem. Vap. Depos. 2003. V. 9. № 4. P. 213. https://doi.org/10.1002/cvde.20030624033

Дополнительные файлы


© С.И. Доровских, Н.В. Куратьева, И.В. Корольков, Т.В. Басова, И.Ю. Ильин, 2023