Автор туралы ақпарат

Смирнов, С. А.

Шығарылым Бөлім Атауы Файл
Том 52, № 5 (2023) ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ The Influence of Small F2, H2, and HF Additives on the Concentration of Active Particles in Tetrafluoromethane Plasma